Hoʻokomo ʻia ka Tungsten hexafluoride (WF6) ma luna o ka ʻili o ka wafer ma o ke kaʻina hana CVD, e hoʻopiha ana i nā ʻauwaha hoʻopili metala, a hana i ka hoʻopili metala ma waena o nā papa.
E kamaʻilio mua kākou e pili ana i ka plasma. ʻO ka plasma kahi ʻano mea i haku ʻia me nā electrons manuahi a me nā ion i hoʻopiʻi ʻia. Loaʻa ia ma ke ao holoʻokoʻa a ua manaʻo pinepine ʻia ʻo ia ke kūlana ʻehā o ka mea. Ua kapa ʻia ʻo ia ke kūlana plasma, i kapa ʻia hoʻi ʻo "Plasma". Loaʻa i ka plasma ke alakaʻi uila kiʻekiʻe a he hopena hoʻopili ikaika me ke kahua electromagnetic. He kinoea ionized hapa ʻia, i haku ʻia me nā electrons, ions, free radicals, neutral particles, a me nā photons. ʻO ka plasma ponoʻī he hui uila neutral e loaʻa ana nā ʻāpana hana kino a me ke kemika.
ʻO ka wehewehe pololei, ma lalo o ka hana o ka ikehu kiʻekiʻe, e lanakila ka mole i ka ikaika van der Waals, ka ikaika hoʻopaʻa kemika a me ka ikaika Coulomb, a hōʻike i kahi ʻano uila kūlike ʻole ma ke ʻano holoʻokoʻa. I ka manawa like, ʻo ka ikehu kiʻekiʻe i hāʻawi ʻia e ka waho e lanakila i nā mana ʻekolu i luna. ʻO ka hana, nā electrons a me nā ions e hōʻike i kahi kūlana manuahi, hiki ke hoʻohana ʻia ma ke ʻano hana ma lalo o ka modulation o kahi kahua magnetic, e like me ke kaʻina hana semiconductor etching, ke kaʻina hana CVD, PVD a me ke kaʻina hana IMP.
He aha ka ikehu kiʻekiʻe? Ma ke kumumanaʻo, hiki ke hoʻohana ʻia ka RF wela kiʻekiʻe a me ke alapine kiʻekiʻe. Ma ke ʻano laulā, aneane hiki ʻole ke hoʻokō i ka mahana kiʻekiʻe. He kiʻekiʻe loa kēia koi mahana a kokoke paha i ka mahana o ka lā. He mea hiki ʻole ke hoʻokō i ke kaʻina hana. No laila, hoʻohana pinepine ka ʻoihana i ka RF alapine kiʻekiʻe e hoʻokō ai. Hiki i ka RF Plasma ke piʻi a hiki i ka 13MHz+.
Hoʻoheheʻe ʻia ka tungsten hexafluoride ma lalo o ka hana a kahi kahua uila, a laila waiho ʻia ka mahu e kahi kahua magnetic. Ua like nā ʻātoma W me nā hulu manu hoʻoilo a hāʻule i ka lepo ma lalo o ka hana o ke koʻikoʻi. Mālie, waiho ʻia nā ʻātoma W i loko o nā lua ma waena, a hoʻopiha hope ʻia i loko o nā lua e hana i nā pilina metala. Ma waho aʻe o ka waiho ʻana i nā ʻātoma W i loko o nā lua ma waena, e waiho pū ʻia anei lākou ma luna o ka ʻili o ka Wafer? ʻAe, ʻoiaʻiʻo. Ma ke ʻano laulā, hiki iā ʻoe ke hoʻohana i ke kaʻina hana W-CMP, ʻo ia ka mea a mākou e kapa nei he kaʻina hana wili mechanical e wehe ai. Ua like ia me ka hoʻohana ʻana i kahi broom e pulumi i ka papahele ma hope o ka hau nui. Ua pulumi ʻia ka hau ma ka honua, akā e mau ana ka hau i loko o ka lua ma ka honua. I lalo, kokoke like.
Ka manawa hoʻouna: Dec-24-2021
